2018年3月14日到16日，2018年中國半導(dǎo)體展在上海新國際博覽中心舉行。Park Systems作為中國半導(dǎo)體展（Semicon China）觀眾手冊中**展示工業(yè)型原子力顯微鏡的原子力顯微鏡制造商參加了這次半導(dǎo)體展。

 

 

這次參加2018年上海半導(dǎo)體展會的是Park公司大中華區(qū)的總經(jīng)理張家榮（Mark Chang），他就Park在未來中國半導(dǎo)體的地位以及作用做了詳細介紹。他指出：“隨著半導(dǎo)體工藝的3D化趨勢，傳統(tǒng)的檢測技術(shù)已不能滿足需求，原子力顯微鏡的3D量測技術(shù)已成為滿足現(xiàn)代工業(yè)量測需求的新興工具。Park致力于原子力顯微鏡研究30余年，可以幫助新的半導(dǎo)體工藝提供更合適貼切的解決方案。”在與同業(yè)產(chǎn)品相比較時他指出Park產(chǎn)品的優(yōu)勢在于:“原子力顯微鏡除了可以觀察納米級微小事物它還具有計量（metrology）的概念, 尤其在半導(dǎo)體工藝，我們不僅僅要看得清還要量得準，Park原子力顯微鏡是以準為概念來滿足客戶對計量（metrology）的需求，這與其他同業(yè)是不一樣的。 在AFM市場里面，Park是**能提供給客戶*準且*低噪聲3D metrology解決方案的。”

 

 

  談及參加2018年中國半導(dǎo)體展的心得時，Mark表示目前全世界的半導(dǎo)體都在為提供更好的晶片做準備，中國作為*大的消費市場，有政府提供龐大的資金支持，他認為中國半導(dǎo)體的市場是非常樂觀的，Park也會設(shè)置更多據(jù)點、投資更多工程人員來滿足服務(wù)客戶快速增長的需求。2019年的半導(dǎo)體展Park China會擴大投資謀求更廣闊的發(fā)展空間。

 

Park Systems是業(yè)內(nèi)歷史*悠久的原子力顯微鏡制造商，產(chǎn)品共分為研究型原子力顯微鏡和工業(yè)型原子力顯微鏡， 研究型占比40%的，而工業(yè)型占比42%， Park的研究型原子力顯微鏡被美國哈佛大學(xué)、斯坦福大學(xué)等使用。工業(yè)型原子力顯微鏡則在更大范圍被廣泛使用，如蘋果制造的IT產(chǎn)品、精密機器的品質(zhì)管理和半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠。IBM, 蘋果，Micron, 三星電子，SK等都是Park的主要用戶。

 Park Systems擁有17年積累而來的原子力顯微鏡相關(guān)的原創(chuàng)技術(shù)，在國內(nèi)外獲得的原子力顯微鏡**足有32項！Park Systems的CEO樸尚一強調(diào)：“Park公司擁有其他任何一家競爭公司都無法比擬的納米計量技術(shù)?！睒闵幸皇撬固垢４髮W(xué)的博士出身，作為*初斯坦福大學(xué)原子力顯微鏡技術(shù)開發(fā)團隊的一員，他從1980年到現(xiàn)在28年間專注只做原子力顯微鏡技術(shù)的研究，是經(jīng)驗*豐富的原子力顯微鏡專家。原子力顯微鏡可實現(xiàn)納米尺度定量物性測量，不僅可探測癌細胞、干細胞、聚合物、石墨烯等，還可應(yīng)用于電池、材料、化學(xué)、IT、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。